Tiêu chuẩn phòng sạch
Hiện nay, nhiều quốc gia và tổ chức đã cho ra đời tiêu chuẩn về phòng sạch của riêng mình, có thể kể đến như: Tiêu chuẩn của Anh, châu Âu, Nhật Bản, tổ chức tiêu chuẩn quốc tế (ISO), Mỹ,…
Nhưng có lẽ, tiêu chuẩn có ảnh hưởng lớn nhất hiện nay là tiêu chuẩn của Mỹ (FS209). Sau đây, xin trình bày chi tiết về hệ thống tiêu chuẩn này. Tiêu chuẩn FS 209: tiêu chuẩn này hiện nay có các phiên bản FS 209A, FS 209B, FS 209C, FS 209D và FS 209E (mới nhất). Các phiên bản từ A~D chỉ dùng hệ đơn vị của Anh, còn phiên bản E dùng kết hợp cả hệ Anh và hệ ISO. Dưới đây là bản chi tiết tiêu chuẩn FS 209E:
Bảng 9.1. Tiêu chuẩn phòng sạch FS 209E
|
Số lượng nhiều nhất các hạt trong không khí (số hạt trên đơn vị thể tích)
|
|||||||||||
|
Lớp |
Kích cỡ hạt
|
||||||||||
|
0.1 µm |
0.2 µm |
0.3 µm |
0.5 µm |
5 µm
|
|||||||
| SI | English | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 |
ft3
|
| M 1 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 |
|
||
| M 1.5 | 1 | 1,240 | 35 | 265 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 |
|
|
| M 2 | 3,500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 |
|
||
| M 2.5 | 10 | 12,400 | 350 | 2,650 | 75 | 1,060 | 30 | 353 | 10 |
|
|
| M 3 | 35,000 | 991 | 7,570 | 214 | 3,090 | 87.5 | 1,000 | 28.3 |
|
||
| M 3.5 | 100 | 26,500 | 750 | 10,600 | 300 | 3,530 | 100 |
|
|||
| M 4 | 75,700 | 2,140 | 30,900 | 875 | 10,000 | 283 |
|
||||
| M 4.5 | 1,000 | 35,300 | 1,000 | 247 |
7
|
||||||
| M 5 | 100,000 | 2,830 | 618 |
17.5
|
|||||||
| M 5.5 | 10,000 | 353,000 | 10,000 | 2,470 |
70
|
||||||
| M 6 | 1,000,000 | 28,300 | 6,180 |
175
|
|||||||
| M 6.5 | 100,000 | 3,350,000 | 100,000 | 24,700 |
700
|
||||||
| M 7 | 10,000,000 | 283,000 | 61,800 |
1,750
|
|||||||
Xem xét bảng trên ta thấy rằng, đối với hệ Anh, tiêu chuẩn này chia phòng sạch theo 6 cấp: 1, 10, 100, 1000, 10000 và 100000. Lấy ví dụ theo cấp 10000 tiêu chuẩn qui định: số lượng hạt có kích cỡ ≥0,5µm trong một ft3 phải ≤ 10000 hạt và số hạt có kích cỡ ≥ 5 µm phải ≤ 70 hạt. Tương tự như vậy đối với các cấp khác.
Đối với hệ SI, tiêu chuẩn này chia thành 13 cấp, gồm: M1, M1.5, M2, M2.5, M3, M3.5, M4, M4.5, M5, M5.5, M6, M6.5 và M7. Trong đó cấp M1 là sạch nhất và các cấp càng lớn thì độ sạch càng giảm dần.